1. Mechanical microsensors
پدیدآورنده: / M.Elwenspoek, R.J. Wiegerink
کتابخانه: كتابخانه مركزی و مركز اسناد دانشگاه شهيد چمران (خوزستان)
موضوع: Detectors-Design and construction,Microelectromechanical systems- Design and construction,Transducers,Silicon,Micromachining
رده :
TK7875
.
E49
2001

